罗茨真空机组,想必大家对它并不陌生吧,但是,你们可知道罗茨真空机组不能存在大量油污?
的确,罗茨真空机组在很多行业都得到广泛的应用。罗茨真空机组在一般情况下,选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利,这主要是由于它能够抽除大量的可凝性蒸汽,特别是当气镇油封机械排除可凝性蒸汽能力不够,或使用的溶剂能使泵油恶化而影响性能,或者是真空系统不允许油污染的时候更为明显。
因此,罗茨真空机组不能存在大量油污。
选用真空泵时,需要注意下列事项:
1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度,水环式真空泵,选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,旋片真空泵,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。
更换真空泵油的方法
重力法:拧开排油阀,将泵体油箱抬高让真空泵内旧油自动地流到旋油螺帽位置让油流出。旧油放尽后,合肥真空泵,从真空泵加油处注入少量的干净真空泵油(100~500mL),冲洗真空泵腔内部,接着,开动真空泵运转1min左右,再关真空泵,将注入的新油放出。若放出的油仍不干挣,应继续注入新的杂油冲洗,直到干净为止。然后,拧紧排油阀.拧下加油孔上的加油帽,向真空泵内加入新的真空泵油,使油面达到油标线,再旋上加油帽。
加压法:将容器放在放油口下方,旋下放油口螺钉。关闭抽气口,同时开启真空泵,打开气镇阀和遮盖真空泵的部分排气口,以产生一个足够的内部压强,使脏油迅速地放出。然后,按方法(1)冲洗真空泵腔内部,换新油。
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