如何保养真空泵？？？

　　1、 真空泵油

　　XD、XQ系列真空泵应使用复合SH0528-92标准规定的真空泵油。环境温度在0℃～10℃时使用ISO-VG32粘度等级的真空泵油。环境温度在10℃～40℃时使用ISO-VG100粘度等级的真空泵油（为原1#真空泵油）。

　　真空泵运转时必须保持油位在油窗高度的1/2～3/4处。应经常检查油位和油的污染情况（建议每周一次）。

　　2、 更换真空泵油及油过滤器

　　如果油受污染而发黑、乳化或变稠应及时换油。换油同时，应更换油过滤器。并在加入新油之前请清洗泵。

　　清洗、换油步骤：

　　① 停泵将热油放掉。

　　② 旋上放油塞，运转5-10秒，将油放尽。

　　③ 注入清洗用油（32号普通机械油）到油窗高度的3/4处。

　　④ 运转真空泵5-10分钟。

　　⑤ 停泵，将油放掉。如放掉的油还是比较浑浊，达不到要求，重复3、4步骤，直到放出的油呈透明状。

　　⑥ 旋上放油塞运转5-10秒。

　　⑦ 将油放尽。

　　⑧ 注入规定的新油即可。

选用真空泵时，需要注意下列事项：

　　1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10-5mmHg的真空度，罗茨真空泵，选用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

　　2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，化工业水环真空泵，如：扩散泵为10-3~10-7mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，浙江真空泵，但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

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